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ペンタキス（ジメチルアミノ）タンタル（V）

99.99%

• 別名: PDMAT, TADMA, Ta（NMe₂）₅, ジメチルアミノタンタル
• 化学式: Ta(N(CH₃)₂)₅
• CAS番号: 19824-59-0
• 分子量: 401.33
• MDL番号: MFCD01631286
• UNSPSCコード: 12352103
• PubChem Substance ID: 24873088
• NACRES: NA.23

特性

• 品質水準: 100
• アッセイ: 99.99%
• フォーム: solid
• 反応適合性: core: tantalum; reagent type: catalyst
• mp: 100 °C (dec.) (lit.)
• SMILES記法: CN(C)[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5
• InChI Key: VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N

詳細

詳細

基材の原子番号：73チタン

特徴および利点

窒化タンタル(TaN)薄膜の、揮発性固体CVD前駆体です。また、O₂, H₂O、NOあるいはH₂O₂が堆積プロセス中に存在すると、酸化タンタル(Ta₂O₅)薄膜も生成します。 Ta₂O₅薄膜は集積回路の製造におけるゲ-ト用誘電体材料として有望です。

安全性情報

• ピクトグラム: GHS02,GHS05
• シグナルワード: Danger
• 危険有害性情報: H228,H260,H314
• 注意書き: P210 - P231 + P232 - P260 - P280 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338
• 危険有害性の分類: Eye Dam. 1 - Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react 1
• 保管分類コード: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• WGK: WGK 3
• 引火点(°F): Not applicable
• 引火点(℃): Not applicable
• 個人用保護具 (PPE): Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges