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トリス(ジメチルアミノ)シラン

packaged for use in deposition systems

• 別名: トリス(ジメチルアミノ)シラン, (Me₂N)₃SiH, N,N,N′,N′,N′′, N′′-ヘキサメチルシラントリアミン, トリス(ジメチルアミド)シラン, N,N,N′,N′,N′′, N′′-ヘキサメチルシラントリアミン, TDMAS
• 化学式: ((CH₃)₂N)₃SiH
• CAS番号: 15112-89-7
• 分子量: 161.32
• EC Number: 239-165-0
• MDL番号: MFCD00048006
• UNSPSCコード: 12352300
• PubChem Substance ID: 329766793
• NACRES: NA.23

特性

• 品質水準: 100
• アッセイ: ≥99.9% (GC)
• 形状: liquid
• bp: 142 °C (lit.)
• mp: −90 °C (lit.)
• 密度: 0.838 g/mL at 25 °C (lit.)
• SMILES記法: CN(C)[SiH](N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/C6H19N3Si/c1-7(2)10(8(3)4)9(5)6/h10H,1-6H3
• InChI Key: TWVSWDVJBJKDAA-UHFFFAOYSA-N

詳細

アプリケーション

トリス（ジメチルアミノ）シラン（TDMAS）は、酸窒化Si；炭窒化物；窒化および酸化薄膜の蒸着のための有機ケイ素化合物源として使用されます。薄膜を含む多成分シリコンを形成するためにも使用されます。蒸着は低温の基板で行うことができます（<150）。TDMASの溶解点および蒸気圧は、適切な作動範囲にあります；従って、非常に良好な蒸着前駆体になります。

安全性情報

• ピクトグラム: GHS02,GHS05,GHS06
• シグナルワード: Danger
• 危険有害性情報: H225 - H261 - H302 - H311 - H314 - H330
• 注意書き: P210 - P231 + P232 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338
• 危険有害性の分類: Acute Tox. 1 Inhalation - Acute Tox. 3 Dermal - Acute Tox. 4 Oral - Eye Dam. 1 - Flam. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Water-react 2
• 補足的ハザード: EUH029
• 保管分類コード: 4.3 - Hazardous materials, which set free flammable gases upon contact with water
• WGK: WGK 3
• 引火点(°F): 16.0 - 32.0 °F - closed cup
• 引火点(℃): -8.89 - 0,00 °C - closed cup