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テトラキス(ジメチルアミド)ジルコニウム(IV)

electronic grade, ≥99.99% trace metals basis

• 別名: TDMAZ, テトラキス(ジメチルアミノ)ジルコニウム(IV)
• 化学式: [(CH₃)₂N]₄Zr
• CAS番号: 19756-04-8
• 分子量: 267.53
• MDL番号: MFCD00239502
• UNSPSCコード: 12352103
• PubChem Substance ID: 24880977
• NACRES: NA.23

特性

• グレード: electronic grade
• 品質水準: 100
• アッセイ: ≥99.99% trace metals basis
• 形状: solid
• 反応適合性: core: zirconium
• mp: 57-60 °C (lit.)
• 保管温度: 2-8°C
• SMILES記法: CN(C)[Zr](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/4C2H6N.Zr/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
• InChI Key: DWCMDRNGBIZOQL-UHFFFAOYSA-N

詳細

アプリケーション

テトラキス(ジメチルアミド)ジルコニウム(IV)は、ガスセンサーからマイクロエレクトロニクスのHigh-k誘電体までの用途が見出される、ジルコニウムの原子層堆積（ALD）のための前駆物質として使用できます。

安全性情報

• ピクトグラム: GHS02,GHS07
• シグナルワード: Danger
• 危険有害性情報: H228,H261,H315,H319,H335
• 注意書き: P210 - P223 - P231 + P232 - P240 - P302 + P352 - P305 + P351 + P338
• 危険有害性の分類: Eye Irrit. 2 - Flam. Sol. 1 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3 - Water-react 2
• ターゲットの組織: Respiratory system
• 補足的ハザード: EUH014
• 保管分類コード: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• WGK: WGK 3
• 引火点(°F): No data available
• 引火点(℃): No data available
• 個人用保護具 (PPE): Eyeshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges