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テトラキス(ジメチルアミド)チタン(IV)

99.999% trace metals basis

• 別名: TDMAT, テトラキス(ジメチルアミノ)チタン(IV)
• 化学式: [(CH₃)₂N]₄Ti
• CAS番号: 3275-24-9
• 分子量: 224.17
• EC Number: 221-904-3
• MDL番号: MFCD00014861
• UNSPSCコード: 12352103
• PubChem Substance ID: 24870618
• NACRES: NA.23

特性

• 品質水準: 200
• アッセイ: 99.999% trace metals basis
• 形状: liquid
• 反応適合性: core: titanium
• bp: 50 °C/0.5 mmHg (lit.)
• 密度: 0.947 g/mL at 25 °C (lit.)
• SMILES記法: CN(C)[Ti](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/4C2H6N.Ti/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
• InChI Key: MNWRORMXBIWXCI-UHFFFAOYSA-N

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アプリケーション

Tetrakis（dimethylamido）titanium（IV）（TDMAT）は、有機金属化学蒸着（OMCVD）による窒化チタン（TiN）薄膜および原子層堆積（ALD）による二酸化チタン薄膜の前駆体です。TDMATは、過剰のシクロペンタジエンと発熱反応し、トリス（ジメチルアミド）（η5-シクロペンタジエニル）チタン（IV）を生成します。

安全性情報

• ピクトグラム: GHS02,GHS05
• シグナルワード: Danger
• 危険有害性情報: H225,H260,H314
• 注意書き: P210 - P223 - P231 + P232 - P280 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338
• 危険有害性の分類: Flam. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Water-react 1
• 補足的ハザード: EUH014
• 保管分類コード: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• WGK: WGK 3
• 引火点(°F): -22.0 °F - closed cup
• 引火点(℃): -30 °C - closed cup
• 個人用保護具 (PPE): Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter