496863

Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)

99.99%

• Synonim(y): PDMAT, TADMA, Ta(NMe₂)₅, Tantalum dimethylamide
• Wzór liniowy: Ta(N(CH₃)₂)₅
• Numer CAS: 19824-59-0
• Masa cząsteczkowa: 401.33
• Numer MDL: MFCD01631286
• Kod UNSPSC: 12352103
• Identyfikator substancji w PubChem: 24873088
• NACRES: NA.23

Właściwości

• Próba: 99.99%
• Formularz: solid
• przydatność reakcji: core: tantalum; reagent type: catalyst
• mp: 100 °C (dec.) (lit.)
• ciąg SMILES: CN(C)[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5
• Klucz InChI: VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N

Opis

Opis ogólny

Atomic number of base material: 73 Tantalum

Cechy i korzyści

Volatile solid CVD precursor to tantalum nitride (TaN) thin films. Also yields tantalum oxide (Ta₂O₅) thin films when O₂, H₂O, NO or H₂O₂ is present during the deposition process. Ta₂O₅ thins films show promise as gate dielectric materials in the manufacture of integrated circuits.

Ta strona może zawierać tekst przetłumaczony maszynowo.

Informacja o środkach bezpieczeństwa

• Piktogramy: GHS02,GHS05
• Hasło ostrzegawcze: Danger
• Zwroty wskazujące rodzaj zagrożenia: H228,H260,H314
• Zwroty wskazujące środki ostrożności: P210 - P231 + P232 - P260 - P280 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338
• Klasyfikacja zagrożeń: Eye Dam. 1 - Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react 1
• Kod klasy składowania: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• Klasa zagrożenia wodnego (WGK): WGK 3
• Temperatura zapłonu (°F): Not applicable
• Temperatura zapłonu (°C): Not applicable
• Środki ochrony indywidualnej: Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges