901545

Aluminum Etchant Type D

• Synonim(y): Roztwór trawiący aluminium do stosowania w urządzeniach z arsenku galu i fosforku galu
• Kod UNSPSC: 12352311
• NACRES: NA.23

Właściwości

• Formularz: liquid

Opis

Opis ogólny

WYTRAWIACZ DO ALUMINIUM - TYP D

• Standardowy wytrawiacz aluminiowy do stosowania na urządzeniach z arsenku galu, arsenku i fosforku galu oraz do metalizacji aluminium na rezystorach nichromowych.
• Wytrawiacze do aluminium to stabilne, nietoksyczne preparaty stosowane do wytrawiania metalizacji aluminiowych na urządzeniach krzemowych i w układach scalonych. Kontakty aluminiowe są definiowane i tworzone są połączenia. Te wytrawiacze do aluminium, opracowane z unikalnymi właściwościami, z łatwością pokonują wiele trudności napotykanych w procesach wytrawiania aluminium.
• Proces metalizacji i trawienia aluminium przy użyciu technik fotolitograficznych jest podstawą technologii półprzewodnikowej i mikroelektronicznej. Wytrawiacze do aluminium są wysoce kompatybilne z komercyjnymi fotorezystami i umożliwiają tworzenie wzorów o wysokiej rozdzielczości. Możliwe są linie metalowe o szerokości 1 milimetra i separacje mniejsze niż 5 mikronów. Wysoka rozdzielczość jest praktyczna w przypadku tych wytrawiaczy aluminiowych, ponieważ nie występuje podnoszenie wzorów fotorezystu, a podcinanie jest zminimalizowane. Co więcej, wytrawiacze nie atakują krzemu, dwutlenku krzemu, azotku krzemu ani nichromowych folii rezystorowych.
• Do użytku w mikroelektronice oferowane są dwa wytrawiacze aluminiowe. Typ A jest zalecany do stosowania na urządzeniach krzemowych. Typ D jest zalecany do stosowania na urządzeniach z arsenku galu i fosforku galu, aby uniknąć ataku wytrawiacza na związek międzymetaliczny. Jest on również zalecany do wytrawiania aluminiowych metalizacji na nichromowych rezystorach cienkowarstwowych.

Zastosowanie

• Metalizacje aluminiowe do 25 000 Å są osadzane próżniowo na plastrze krzemu, powlekane fotorezystem i naświetlane promieniami UV przy użyciu odpowiedniej maski fotograficznej. Opornik jest opracowywany w celu ochrony aluminium w miejscach, w których pożądane są połączenia. Następnie niezabezpieczone obszary aluminium są usuwane poprzez trawienie za pomocą wytrawiacza do aluminium, a następnie płukanie wodą.
• Czas trawienia zależy od temperatury wytrawiacza i grubości warstwy aluminium. Podczas wytrawiania grubych folii aluminiowych wymagana jest wyższa szybkość wytrawiania; dlatego należy stosować wyższą temperaturę wytrawiacza. Podobnie, w przypadku cieńszych folii aluminiowych, pożądane jest wolniejsze tempo trawienia i należy wybrać niższą temperaturę wytrawiania.
• Przy określonej temperaturze wytrawiania, czas wytrawiania jest określony następującym wzorem:

Czas wytrawiania (sekunda) + Grubość warstwy (Å)/ Szybkość wytrawiania (Å/s)
gdzie Szybkość wytrawiania przy 25°C 30 Å/s; przy 40°C 80 Å/s.

Cechy i korzyści

• Kontrolowana szybkość trawienia
• Selektywne trawienie: nie atakuje _SiO2 ani _Si3N4
• Oferuje wysoką rozdzielczość przy minimalnym podcięciu
• Eliminuje powstawanie smug
• Ekonomiczny; wielokrotnego użytku

Ta strona może zawierać tekst przetłumaczony maszynowo.

Informacja o środkach bezpieczeństwa

• Piktogramy: GHS05,GHS07
• Hasło ostrzegawcze: Danger
• Zwroty wskazujące rodzaj zagrożenia: H290,H302,H314,H317
• Zwroty wskazujące środki ostrożności: P234 - P261 - P280 - P301 + P312 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338
• Klasyfikacja zagrożeń: Acute Tox. 4 Oral - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1B - Skin Sens. 1
• Kod klasy składowania: 8A - Combustible corrosive hazardous materials
• Klasa zagrożenia wodnego (WGK): WGK 1
• Temperatura zapłonu (°F): Not applicable
• Temperatura zapłonu (°C): Not applicable