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パラジウム(II)ヘキサフルオロアセチルアセトナート

• 別名: パラジウム（II）ヘキサフルオロアセチルアセトナート
• 化学式: Pd(C₅HF₆O₂)₂
• CAS番号: 64916-48-9
• 分子量: 520.52
• EC Number: 265-271-1
• MDL番号: MFCD00015709
• UNSPSCコード: 12352103
• PubChem Substance ID: 24865018
• NACRES: NA.23

特性

• 品質水準: 100
• フォーム: powder or crystals
• 反応適合性: core: palladium; reagent type: catalyst
• SMILES記法: FC(F)(F)C(=O)\C=C(/O[Pd]O\C(=C/C(=O)C(F)(F)F)C(F)(F)F)C(F)(F)F
• InChI: 1S/2C5H2F6O2.Pd/c2*6-4(7,8)2(12)1-3(13)5(9,10)11;/h2*1,12H;/q;;+2/p-2/b2*2-1-;
• InChI Key: OVIDFVVPPRGPGR-PAMPIZDHSA-L

詳細

アプリケーション

銅のCVD合金技術を強化する酸化還元金属交換反応に使用されます。さらに、超大規模集積素子(ULSI素子)で応用される、銅のエッチングとパラジウムの蒸着が同時に行える方法に使用されます。

安全性情報

• ピクトグラム: GHS07
• シグナルワード: Warning
• 危険有害性情報: H315,H319,H335
• 注意書き: P261 - P264 - P271 - P280 - P302 + P352 - P305 + P351 + P338
• 危険有害性の分類: Eye Irrit. 2 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3
• ターゲットの組織: Respiratory system
• 保管分類コード: 11 - Combustible Solids
• WGK: WGK 3
• 個人用保護具 (PPE): dust mask type N95 (US), Eyeshields, Gloves