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クロムエッチング液

standard

• 別名: Cr エッチング液
• MDL番号: MFCD07370678
• UNSPSCコード: 12352300
• NACRES: NA.23

特性

• グレード: standard
• 品質水準: 100
• 組成: volatiles, 85%
• 色: orange
• bp: 100 °C/1 atm
• 密度: 1.16 g/mL at 25 °C

詳細

詳細

• 外観 - 澄明な橙色
• pH - 酸性
• 40 °Cでのエッチング速度 - 40 Å/秒
• エッチング量（速度は約70%で低下）- 65 g/ガロン
• 有効期間 - 1年
• 保存条件 - 室温
• ろ過 - 0.2 µm
• 推奨操作温度 - 20～80°C（一般的には30～40°C）
• 水洗 - 脱イオン水
• フォトレジストの推奨品 - KLT6000 シリーズ、KLT 5300シリーズ、HARE SQT（SU-8型）, TRANSIST、PKP -308PI
• 適合材料 - Au、Ti、酸化物、窒化物、Si
• 不適合材料 - Al、Ni、Cu、NiCr
• 適合プラスチック- HDPE、PP、PTFE、PFA、PVC
• 等方性 - 等方性
• 不適合化学物質 - 強塩基

クロムエッチング剤は、基質から過剰な金属を除去するクロム系溶液です。クロムエッチング液剤は、金属仕上げや電子工業で多用されています。エッチング速度は4mm/sで、ニッケル、銅、クロム系の過剰金属のエッチングに使用できます。

メルクのクロムエッチング液は、高純度硝酸セリウムアンモニウム系であり、クロムおよび酸化クロム膜の精密でクリーンなエッチングが可能です。ネガ型とポジ型の両方のフォトレジストに適合します。私たちのクロムエッチング液は、ろ過済みで、0.2ミクロンを超えるすべての微粒子が除去されています。 エッチング温度は膜厚により変化します。エッチング時間は室温で15～60秒です。クロムエッチング液は、換気の良いフード内で操作する必要があります。

硝酸アンモニウムセリウム系エッチング液 エッチング速度40 Å/sec （室温） 清浄にエッチングし、必要なのは脱イオン水によるリンスのみです。

アプリケーション

本製品でAl、Cr、Cu、Ni、GaAsのエッチングができます。Si、Ta/TaNの表面酸化ができますが、Au、Si₃N₄、SiO₂、Ti、Wの表面への影響はありません。

室温又は高温での使用向けです。 清浄にエッチングし、途中でリンスをする必要がありません。 エッチング温度は膜の厚さによって異なります。 エッチング時間は室温で15～60秒です。 注：クロムエッチング液は十分に換気されるフード内で扱ってください。

特徴および利点

クロム及び酸化クロム膜を正確で清浄なエッチングができるようにデザインされています。 ネガ型とポジ型の両方のフォトレジストに適合します。 粒子除去のため0.2ミクロンフィルターで濾過済み。

安全性情報

• ピクトグラム: GHS03,GHS05,GHS07,GHS09
• シグナルワード: Danger
• 危険有害性情報: H272,H290,H314,H317,H411
• 注意書き: P210 - P220 - P273 - P280 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338
• 危険有害性の分類: Aquatic Chronic 2 - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Ox. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Skin Sens. 1
• 補足的ハザード: EUH071
• 保管分類コード: 5.1B - Oxidizing hazardous materials
• WGK: WGK 3
• 引火点(°F): Not applicable
• 引火点(℃): Not applicable