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セラミックエッチング液 A

• 別名: Al₂O₃ エッチング液, GaNエッチング液, Si₃N₄エッチング液, 窒化ガリウムエッチング液, 窒化ケイ素エッチング液, 酸化アルミニウムエッチング液
• MDL番号: MFCD08705343
• UNSPSCコード: 12352300
• NACRES: NA.23

詳細

アプリケーション

窒化ケイ素(Si₃N₄)、窒化ガリウム(GaN)、または酸化アルミニウム(Al₂O₃)の高速で制御可能なエッチングに有用です。

特徴および利点

180°Cでのエッチング速度:
酸化アルミニウム 120 Å/分
窒化ケイ素 125 Å/分
窒化ガリウム 80 Å/分
二酸化ケイ素 1 Å/分
ケイ素 1 Å/分

安全性情報

• ピクトグラム: GHS05,GHS07
• シグナルワード: Danger
• 危険有害性情報: H290,H302,H314
• 注意書き: P234 - P270 - P280 - P301 + P312 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338
• 危険有害性の分類: Acute Tox. 4 Oral - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1B
• 保管分類コード: 8B - Non-combustible corrosive hazardous materials
• WGK: WGK 1
• 引火点(°F): Not applicable
• 引火点(℃): Not applicable
• 個人用保護具 (PPE): Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter