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二フッ化水素アンモニウム

99.999% trace metals basis

• 別名: エッチングパウダー, 重フッ化アンモニウム
• 化学式: NH₄HF₂
• CAS番号: 1341-49-7
• 分子量: 57.04
• EC Number: 215-676-4
• MDL番号: MFCD00012018
• UNSPSCコード: 12352302
• eCl@ss: 38050109
• PubChem Substance ID: 24869086
• NACRES: NA.23

特性

• 品質水準: 100
• アッセイ: 99.999% trace metals basis
• 形状: crystalline
• 不純物: ≤15.0 ppm Trace Metal Analysis
• mp: 125 °C (lit.)
• SMILES記法: N.F.F
• InChI: 1S/2FH.H3N/h2*1H;1H3
• InChI Key: KVBCYCWRDBDGBG-UHFFFAOYSA-N

詳細

詳細

二フッ化水素アンモニウムは、特に半導体産業でエッチング液として一般的に使用される白色の結晶固体です。酸化シリコンや金属シリサイドのエッチングにおいて優れた選択性を備えているため、半導体やマイクロ電子デバイスの製造に有用です。フッ素化剤としても使用できます。

アプリケーション

アンモニウム アミノシリルフルオリドおよび錯体金属フッ化物の調製に用いられます。錯フッ化物NaHoF₄とNaEuF₄の新規熱水合成に用いられます。これらの化合物は蛍石型構造を持ち、フォトルミネッセンス特性や磁気特性の点だけでなく固体レ-ザ-への応用でも重要です。

安全性情報

• ピクトグラム: GHS06,GHS05
• シグナルワード: Danger
• 危険有害性情報: H301,H314
• 注意書き: P260 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338 - P363
• 危険有害性の分類: Acute Tox. 3 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1B
• 保管分類コード: 6.1D - Non-combustible acute toxic Cat.3 / toxic hazardous materials or hazardous materials causing chronic effects
• WGK: WGK 1
• 引火点(°F): Not applicable
• 引火点(℃): Not applicable
• 個人用保護具 (PPE): Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges