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Sigma-Aldrich

Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)

99.99%

Sinonimo/i:

PDMAT, TADMA, Ta(NMe2)5, Tantalum dimethylamide

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About This Item

Formula condensata:
Ta(N(CH3)2)5
Numero CAS:
19824-59-0
Peso molecolare:
401.33
Numero MDL:
MFCD01631286
Codice UNSPSC:
12352103
ID PubChem:
24873088
NACRES:
NA.23

Livello qualitativo

100

Saggio

99.99%

Stato

solid

Impiego in reazioni chimiche

core: tantalum
reagent type: catalyst

Punto di fusione

100 °C (dec.) (lit.)

Stringa SMILE

CN(C)[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C

InChI

1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5
VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N

Descrizione generale

Atomic number of base material: 73 Tantalum

Caratteristiche e vantaggi

Volatile solid CVD precursor to tantalum nitride (TaN) thin films. Also yields tantalum oxide (Ta2O5) thin films when O2, H2O, NO or H2O2 is present during the deposition process. Ta2O5 thins films show promise as gate dielectric materials in the manufacture of integrated circuits.

Pittogrammi

FlameCorrosion
GHS02,GHS05

Avvertenze

Danger

Indicazioni di pericolo

H228,H260,H314

Classi di pericolo

Eye Dam. 1 - Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react 1

Codice della classe di stoccaggio

4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water

Classe di pericolosità dell'acqua (WGK)

WGK 3

Punto d’infiammabilità (°F)

Not applicable

Punto d’infiammabilità (°C)

Not applicable

Dispositivi di protezione individuale

Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges

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Certificati d'analisi (COA)

Lot/Batch Number
SHBG7719V
SHBC8197V
SHBB0436V
29796BP
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