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Sigma-Aldrich

Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)

≥99.99%

Sinônimo(s):

TDMAH, Tetrakis(dimethylamino)hafnium(IV)

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About This Item

Fórmula linear:
[(CH3)2N]4Hf
Número CAS:
19782-68-4
Peso molecular:
354.79
Número MDL:
MFCD01862473
Código UNSPSC:
12352103
ID de substância PubChem:
24869038
NACRES:
NA.23

Nível de qualidade

100

Ensaio

≥99.99%

Formulário

low-melting solid

adequação da reação

core: hafnium

pf

26-29 °C (lit.)

densidade

1.098 g/mL at 25 °C

cadeia de caracteres SMILES

CN(C)[Hf](N(C)C)(N(C)C)N(C)C

InChI

1S/4C2H6N.Hf/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4

chave InChI

ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N

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Descrição geral

Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV) is an organometallic compound consisting of a central hafnium atom (Hf) surrounded by four dimethylamido ligands (NMe2). It is commonly used as a CVD/ALD precursor to produce high-quality Hf thin films. It is a solid with low melting point.

Aplicação

Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV) can be used:
  • As an atomic layer deposition(ALD) precursor for deposition of hafnium oxide thin films for advanced semiconductor devices.
  • As a precursor to fabricate polymer-derived ceramic nanocomposites.
  • To prepare HfO2, CeO2, and Ce-doped HfO2 thin films on Ge substrates by using tris(isopropyl-cyclopentadienyl)cerium [Ce(iPrCp)3] precursors with H2O via ALD method.
  • To produce Hf3N4 thin films with TDMAH and ammonia at low substrate temperatures at 150−250 °C.

Nota de análise

Purity excludes ~2000 ppm Zr.

acessório

Nº do produto
Descrição
Preços

Pictogramas

FlameCorrosion
GHS02,GHS05

Palavra indicadora

Danger

Frases de perigo

H228,H261,H314

Classificações de perigo

Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react 2

Perigos de suplementos

EUH014

Código de classe de armazenamento

4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water

Classe de risco de água (WGK)

WGK 3

Equipamento de proteção individual

Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges

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Lot/Batch Number
SHBK7010
SHBL1439
SHBK3100
SHBH8838
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