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オルトケイ酸テトラエチル

packaged for use in deposition systems

• 別名: オルトケイ酸テトラエチル, オルトケイ酸テトラエチルエステル, TEOS, テトラエトキシシラン
• 化学式: Si(OC₂H₅)₄
• CAS番号: 78-10-4
• 分子量: 208.33
• Beilstein: 1422225
• EC Number: 201-083-8
• MDL番号: MFCD00009062
• UNSPSCコード: 12352103
• PubChem Substance ID: 329766783
• NACRES: NA.23

特性

• 蒸気密度: 7.2 (vs air)
• 蒸気圧: <1 mmHg ( 20 °C)
• アッセイ: ≥99.5% (GC)
• 形状: liquid
• 屈折率: n20/D 1.382 (lit.)
• bp: 168 °C (lit.)
• 密度: 0.933 g/mL at 20 °C (lit.)
• SMILES記法: CCO[Si](OCC)(OCC)OCC
• InChI: 1S/C8H20O4Si/c1-5-9-13(10-6-2,11-7-3)12-8-4/h5-8H2,1-4H3
• InChI Key: BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N

詳細

アプリケーション

Tetraethyl orthosilicate (TEOS) is an oxygen containing precursor of Si used for the deposition of:

• Si oxide
• Oxycarbide
• Doped silicate
• Silanol
• Siloxane polymer
• Organosilicon thin films

The films can be deposited at low temperatues (<250 °C). TEOS is also used to deposit mesoporous and nanoporous thin films of silica. These porous films can be doped during deposition to further enhance their properties.

H⁺-マガジイトの層間化合物形成においてドデシルアミンと相互作用します。混合金属生体活性ガラスの研究に使用されます。

キセロゲル調製の前駆体として広く用いられています。

安全性情報

• ピクトグラム: GHS02,GHS07
• シグナルワード: Warning
• 危険有害性情報: H226,H319,H332,H335
• 注意書き: P210 - P233 - P240 - P241 - P304 + P340 + P312 - P305 + P351 + P338
• 危険有害性の分類: Acute Tox. 4 Inhalation - Eye Irrit. 2 - Flam. Liq. 3 - STOT SE 3
• ターゲットの組織: Respiratory system
• 保管分類コード: 3 - Flammable liquids
• WGK: WGK 1
• 引火点(°F): 113.0 °F - closed cup
• 引火点(℃): 45 °C - closed cup