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物質
gold/chromium electrode (Au/Cr)
silica coating (SiO2)
詳細
die layer thickness 300 nm SiO2
electrode layer thickness 60 nm gold
type 2
包装
pkg of 12 non-diced devices
メーカー／製品名
IDE200
die thickness
525 μm , silicon
電極サイズ
10 nm , chrome
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