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ヘキサメチルジシロキサン

≥98%

• 別名: HMDSO
• 化学式: (CH₃)₃SiOSi(CH₃)₃
• CAS番号: 107-46-0
• 分子量: 162.38
• Beilstein: 1736258
• EC Number: 203-492-7
• MDL番号: MFCD00008265
• UNSPSCコード: 12352103
• PubChem Substance ID: 24852329
• NACRES: NA.22

特性

• 蒸気密度: >1 (vs air)
• 品質水準: 200
• アッセイ: ≥98%
• 形状: liquid
• 屈折率: n20/D 1.377 (lit.)
• bp: 101 °C (lit.); 101 °C
• mp: −59 °C (lit.)
• 密度: 0.764 g/mL at 20 °C (lit.)
• SMILES記法: C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C
• InChI: 1S/C6H18OSi2/c1-8(2,3)7-9(4,5)6/h1-6H3
• InChI Key: UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N

詳細

詳細

ヘキサメチルジシロキサン（HMDSO）は、直鎖状のポリジシロキサンであり、シリコン化合物薄膜のプラズマ促進化学蒸着（PE-CVD）の原料として広く使用されている有機ケイ素試薬です。またシリコン集積回路技術においてシランの代替品としても使用されます。HMDSOの電子衝撃による解離性イオン化について、フーリエ変換質量分析を用いた研究が行われています。大気圧グロー（APG）放電によるHMDSO薄膜のプラズマ重合が報告されています。148KのHMDSO結晶は単斜晶です。HMDSOをP₄S₁₀に添加すると、チオン化剤としての効率が向上します。

アプリケーション

ヘキサメチルジシロキサンは以下の用途に用いられています：

• 乾式沈着法により制御された疎水性シリコンナノ層を有するガス拡散層（GDL）の作製に
• アルギニンとグルコースをそれぞれ触媒、還元剤として使い、シリカ被膜銀ナノ粒子の作製に

安全性情報

• ピクトグラム: GHS02,GHS09
• シグナルワード: Danger
• 危険有害性情報: H225,H410
• 注意書き: P210 - P273
• 危険有害性の分類: Aquatic Acute 1 - Aquatic Chronic 1 - Flam. Liq. 2
• 保管分類コード: 3 - Flammable liquids
• WGK: WGK 2
• 引火点(°F): 21.2 °F - closed cup
• 引火点(℃): -6 °C - closed cup
• 個人用保護具 (PPE): Eyeshields, Faceshields, Gloves, type ABEK (EN14387) respirator filter