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Sigma-Aldrich

Tetrakis(dimethylamido)zirconium(IV)

electronic grade, ≥99.99% trace metals basis

Sinônimo(s):

TDMAZ, Tetrakis(dimethylamino)zirconium(IV)

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About This Item

Fórmula linear:
[(CH3)2N]4Zr
Número CAS:
Peso molecular:
267.53
Número MDL:
Código UNSPSC:
12352103
ID de substância PubChem:
NACRES:
NA.23

grau

electronic grade

Nível de qualidade

Ensaio

≥99.99% trace metals basis

Formulário

solid

adequação da reação

core: zirconium

pf

57-60 °C (lit.)

temperatura de armazenamento

2-8°C

cadeia de caracteres SMILES

CN(C)[Zr](N(C)C)(N(C)C)N(C)C

InChI

1S/4C2H6N.Zr/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4

chave InChI

DWCMDRNGBIZOQL-UHFFFAOYSA-N

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Aplicação

Tetrakis(dimethylamido) zirconium (IV) may be used as a precursor for atomic layer deposition of zirconium which find applications ranging from gas sensors to high-k dielectrics in microelectronics.

Pictogramas

FlameExclamation mark

Palavra indicadora

Danger

Frases de perigo

Classificações de perigo

Eye Irrit. 2 - Flam. Sol. 1 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3 - Water-react 2

Órgãos-alvo

Respiratory system

Perigos de suplementos

Código de classe de armazenamento

4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water

Classe de risco de água (WGK)

WGK 3

Ponto de fulgor (°F)

No data available

Ponto de fulgor (°C)

No data available

Equipamento de proteção individual

Eyeshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges


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