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Merck
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Sigma-Aldrich

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 6:1

同義詞:

BHF, 缓冲HF

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About This Item

分類程式碼代碼:
12161700
NACRES:
NA.23

一般說明

BOE 6:1是6份体积的40%氟化铵和1份体积的49%氢氟酸。
缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）是一种用于微细加工的液体腐蚀剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）的薄膜。它是氟化铵（NH4F）和氢氟酸（HF）等缓冲液的混合物。浓缩的 HF 蚀刻二氧化硅的速度太快，不能很好地进行工艺控制，同时也会剥落用于光刻图案化的光刻胶。

應用

缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）6：1可用于栅极光刻（gate photolithography）的AlGaN / GaN基高电子迁移率晶体管的氧化物去除。它可用于缓冲氧化物蚀刻剂法，制造微型生物芯片。

象形圖

Skull and crossbonesCorrosion
GHS06,GHS05

訊號詞

Danger

危險分類

Acute Tox. 1 Dermal - Acute Tox. 2 Oral - Acute Tox. 3 Inhalation - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A

儲存類別代碼

6.1B - Non-combustible acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials

水污染物質分類（WGK）

WGK 2

閃點（°F）

Not applicable

閃點（°C）

Not applicable

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分析證明 (COA)

Lot/Batch Number
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Fabrication of a new micro bio chip and flow cell cytometry system using Bio-MEMS technology
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Gonzalez-Posada F, et al.
Applied Surface Science, 253(14), 6185-6190 (2007)

Global Trade Item Number

庫存單位GTIN
901624-1L4061836816025

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