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形狀
liquid
一般說明
缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）薄膜。它是一种缓冲剂的混合物，例如氟化铵（NH4F）和氢氟酸（HF）。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快，无法实现良好的工艺控制，并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。
應用
缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 10:1可用于刻蚀微机电系统 (MEMS)用碳化钛。也可用于旋涂掺杂材料(SOD)的蚀刻，用于开发导体-绝缘体-导体隧穿二极管。它还用于提高熔融石英器件的表面质量。
訊號詞
Danger
危險分類
Acute Tox. 2 Dermal - Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 3 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1B
儲存類別代碼
6.1B - Non-combustible acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials
水污染物質分類（WGK）
WGK 2
閃點（°F）
Not applicable
閃點（°C）
Not applicable
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