詳細
大型タイプまたはベーシックタイプのプラズマクリーナー(115 V用)と組み合わせて使用します。2種類までの処理ガスの微調整、処理ガスの混合、そして真空度のモニタリングを行うことができます。
* 最大流速は処理ガスの種類および制御される圧力によって異なります。これらのプラズマクリーナーで特によく使用される処理ガス(空気、Ar、N2、O2)については、10 psigで測定した流速をまとめた一覧表が利用可能です。他の処理ガスや制御圧力での流速についても一覧表はお作りできますのでご用命ください。
- 2本のガス系統
- 流量計1:最大流速49 mL/分*
- 流量計2:最大流速104 mL/分*
- 正確性:±2%
- デジタル表示式熱電対真空計(1～1999 mTorr)
- インプット/アウトプット接続:1/4インチ(6.4 cm)Swagelokから1/4インチ(6.4 cm)O.D.ステンレス鋼ホースアダプター
* 最大流速は処理ガスの種類および制御される圧力によって異なります。これらのプラズマクリーナーで特によく使用される処理ガス(空気、Ar、N2、O2)については、10 psigで測定した流速をまとめた一覧表が利用可能です。他の処理ガスや制御圧力での流速についても一覧表はお作りできますのでご用命ください。
The PlasmaFlo may be used with the High Power Expanded, Expanded, or Basic Plasma Cleaner (115V) and is beneficial for gas mixing, more precise quantitative control of the gas flowrate and monitoring of vacuum pressure.
* Maximum flowrate varies with process gas and regulated pressure. Correlated flowrate tables are available for the most common process gases (Air, Ar, N2, O2) used with our Plasma Cleaners and metered at 10 psig. Flowrate tables for other process gases and regulated pressures can be made available. Please inquire with Harrick Plasma.
- Dual gas inputs into flowmeters with 49 mL/min maximum flowrate* and ±2% accuracy
- Thermocouple vacuum gauge and digital meter (1 to 1999 mTorr)
- Inputs/Output connection: ¼ in. Swagelok to ¼ in. O.D. stainless steel hose adaptor
* Maximum flowrate varies with process gas and regulated pressure. Correlated flowrate tables are available for the most common process gases (Air, Ar, N2, O2) used with our Plasma Cleaners and metered at 10 psig. Flowrate tables for other process gases and regulated pressures can be made available. Please inquire with Harrick Plasma.
試験成績書（COA）
製品のロット番号・バッチ番号を入力して、試験成績書（COA） を検索できます。ロット番号・バッチ番号は、製品ラベルに「Lot」または「Batch」に続いて記載されています。
ライフサイエンス、有機合成、材料科学、クロマトグラフィー、分析など、あらゆる分野の研究に経験のあるメンバーがおります。.
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