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蒸気密度
5.86 (vs air)
蒸気圧
420 mmHg ( 37.7 °C)
アッセイ
99.998% trace metals basis
形状
liquid
反応適合性
core: silicon
bp
57.6 °C (lit.)
mp
−70 °C (lit.)
密度
1.483 g/mL at 25 °C (lit.)
SMILES記法
Cl[Si](Cl)(Cl)Cl
InChI
1S/Cl4Si/c1-5(2,3)4
InChI Key
FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N
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詳細
シグナルワード
Danger
危険有害性情報
危険有害性の分類
Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 3 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A - STOT SE 3
ターゲットの組織
Respiratory system
補足的ハザード
保管分類コード
6.1C - Combustible acute toxic Cat.3 / toxic compounds or compounds which causing chronic effects
WGK
WGK 1
引火点(°F)
Not applicable
引火点(℃)
Not applicable
個人用保護具 (PPE)
Faceshields, Gloves, Goggles
適用法令
試験研究用途を考慮した関連法令を主に挙げております。化学物質以外については、一部の情報のみ提供しています。 製品を安全かつ合法的に使用することは、使用者の義務です。最新情報により修正される場合があります。WEBの反映には時間を要することがあるため、適宜SDSをご参照ください。
労働安全衛生法名称等を表示すべき危険物及び有害物
名称等を表示すべき危険物及び有害物
労働安全衛生法名称等を通知すべき危険物及び有害物
名称等を通知すべき危険物及び有害物
Jan Code
688509-25ML:
688509-VAR:
688509-BULK:
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資料
igma-Aldrich.com presents an article regarding the savannah ALD system - an excellent tool for atomic layer deposition.
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atomic layer deposition (ALD), microelectronics, Mo:Al2O3 films, nanocomposite coating, photovoltaics, semiconductor devices, W:Al2O3 films, composite films, layer-by-layer
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