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Merck

688509

Sigma-Aldrich

四塩化ケイ素

packaged for use in deposition systems

別名:

STC, テトラクロロシラン

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About This Item

化学式:
SiCl4
CAS番号:
分子量:
169.90
MDL番号:
UNSPSCコード:
12352103
PubChem Substance ID:
NACRES:
NA.23

蒸気密度

5.86 (vs air)

蒸気圧

420 mmHg ( 37.7 °C)

アッセイ

99.998% trace metals basis

形状

liquid

反応適合性

core: silicon

bp

57.6 °C (lit.)

mp

−70 °C (lit.)

密度

1.483 g/mL at 25 °C (lit.)

SMILES記法

Cl[Si](Cl)(Cl)Cl

InChI

1S/Cl4Si/c1-5(2,3)4

InChI Key

FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N

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詳細

Atomic number of base material: 14 Silicon

ピクトグラム

Skull and crossbonesCorrosion

シグナルワード

Danger

危険有害性情報

危険有害性の分類

Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 3 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A - STOT SE 3

ターゲットの組織

Respiratory system

補足的ハザード

保管分類コード

6.1C - Combustible acute toxic Cat.3 / toxic compounds or compounds which causing chronic effects

WGK

WGK 1

引火点(°F)

Not applicable

引火点(℃)

Not applicable

個人用保護具 (PPE)

Faceshields, Gloves, Goggles


適用法令

試験研究用途を考慮した関連法令を主に挙げております。化学物質以外については、一部の情報のみ提供しています。 製品を安全かつ合法的に使用することは、使用者の義務です。最新情報により修正される場合があります。WEBの反映には時間を要することがあるため、適宜SDSをご参照ください。

労働安全衛生法名称等を表示すべき危険物及び有害物

名称等を表示すべき危険物及び有害物

労働安全衛生法名称等を通知すべき危険物及び有害物

名称等を通知すべき危険物及び有害物

Jan Code

688509-25ML:
688509-VAR:
688509-BULK:


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資料

igma-Aldrich.com presents an article regarding the savannah ALD system - an excellent tool for atomic layer deposition.

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atomic layer deposition (ALD), microelectronics, Mo:Al2O3 films, nanocomposite coating, photovoltaics, semiconductor devices, W:Al2O3 films, composite films, layer-by-layer

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