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ジシラン

electronic grade

• 別名: Disilicane, Disilicoethane, Disilicon hexahydride, Silicoethane, Silicon hydride (Si₂ H₆ )
• 化学式: Si₂H₆
• CAS番号: 1590-87-0
• 分子量: 62.22
• EC Number: 216-466-5
• MDL番号: MFCD00054678
• UNSPSCコード: 12352103
• PubChem Substance ID: 24869889
• NACRES: NA.23

特性

• グレード: electronic grade
• 品質水準: 100
• アッセイ: ≥99.998% chemical purity basis
• フォーム: gas
• 不純物: ≤50 ppm Higher silanes; <0.2 ppm Chlorosilanes; <1 ppm Argon (Ar) + Oxygen (O₂); <1 ppm Carbon dioxide (CO₂); <1 ppm Nitrogen (N₂); <1 ppm THC; <1 ppm Water; <5 ppm Siloxanes
• bp: −14.5 °C (lit.)
• mp: −132.6 °C (lit.)
• 転移温度: critical temperature 150.9 °C
• SMILES記法: [SiH3][SiH3]
• InChI: 1S/H6Si2/c1-2/h1-2H3
• InChI Key: PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N

詳細

詳細

Atomic number of base material: 14 Silicon

アプリケーション

前駆体として用いることで、シリコンやシリコン系誘電体のエピタキシャル層を低温で速やかに作製可能です。。

特徴および利点

Disilane is used for the deposition of amorphous silicon, epitaxial silicon and silicon based dielectrics via rapid low-temperature chemical vapor depsition (LTCVD). Disilane is also used in the epitaxial growth of SiGe films by molecular beam epitaxy (MBE) in conjunction with solid sources of germanium. Precursor for the rapid, low temperature deposition of epitaxial silicon and silicon-based dielectrics.

安全性情報

• ピクトグラム: GHS02,GHS04,GHS08,GHS07
• シグナルワード: Danger
• 危険有害性情報: H221,H280,H312,H315,H319,H334,H335
• 注意書き: P210 - P280 - P302 + P352 + P312 - P305 + P351 + P338 - P403 + P233 - P410 + P403
• 危険有害性の分類: Acute Tox. 4 Dermal - Eye Irrit. 2 - Flam. Gas 1B - Press. Gas Liquefied gas - Resp. Sens. 1 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3
• ターゲットの組織: Respiratory system
• 保管分類コード: 2A - Gases
• WGK: WGK 3
• 引火点(°F): <50.0 °F - closed cup
• 引火点(℃): < 10 °C - closed cup
• 個人用保護具 (PPE): Eyeshields, Faceshields, Gloves, multi-purpose combination respirator cartridge (US)