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Tungsten etchant
Sinonimo/i:
Tungsten etch
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Descrizione generale
Tungsten etchant is a mixture of potassium hydroxide and potassium ferricyanide based solution that facilitates the removal of tungsten and other materials like aluminium by dipping the substrate into the etching solution.
Applicazioni
Selective etchants for tungsten thin-film metallizations used in semiconductor and microelectronics technology. Etchants are buffered, mildly alkaline ferricyanide-based formulations providing high resolution patterns with minimal undercutting and photoresist compatibility. Etchant is ready to use (no dilution required). Controlled, uniform etching is achieved by immersion or spray etch technique. Etch Capacity (rate declines at ∼70%) of 64 g/gallon. Recommended Operating Temperatures: 20-80 °C (30-40 °C most common).
Nota sulla preparazione
- 20°C = 30 Å/second
- 30°C = 140 Å/second 20°C = 80 Å/second
- 60°C = 250 Å/second
Avvertenze
Danger
Indicazioni di pericolo
Classi di pericolo
Aquatic Chronic 3 - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1A
Rischi supp
Codice della classe di stoccaggio
8B - Non-combustible, corrosive hazardous materials
Classe di pericolosità dell'acqua (WGK)
WGK 2
Punto d’infiammabilità (°F)
Not applicable
Punto d’infiammabilità (°C)
Not applicable
Dispositivi di protezione individuale
Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter
Certificati d'analisi (COA)
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