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Sigma-Aldrich

Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV)

99.999% trace metals basis

Sinónimos:

TDMAT, Tetrakis(dimethylamino)titanium(IV)

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About This Item

Fórmula lineal:
[(CH3)2N]4Ti
Número de CAS:
3275-24-9
Peso molecular:
224.17
Número CE:
221-904-3
Número MDL:
MFCD00014861
Código UNSPSC:
12352103
ID de la sustancia en PubChem:
24870618
NACRES:
NA.23

Nivel de calidad

200

Análisis

99.999% trace metals basis

formulario

liquid

idoneidad de la reacción

core: titanium

bp

50 °C/0.5 mmHg (lit.)

densidad

0.947 g/mL at 25 °C (lit.)

cadena SMILES

CN(C)[Ti](N(C)C)(N(C)C)N(C)C

InChI

1S/4C2H6N.Ti/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4

Clave InChI

MNWRORMXBIWXCI-UHFFFAOYSA-N

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Descripción general

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Aplicación

Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV) (TDMAT) is a precursor to titanium nitride (TiN) thin films by organometallic chemical vapor deposition (OMCVD)and titanium dioxide thin films by atomic layer deposition (ALD).TDMAT undergoes exothermal reaction with excess cyclopentadiene to yield tris(dimethylamido)(η5-cyclopentadienyl)titanium(IV).

Para utilizar con

Referencia del producto
Descripción
Precios

Pictogramas

FlameCorrosion
GHS02,GHS05

Palabra de señalización

Danger

Frases de peligro

H225,H260,H314

Clasificaciones de peligro

Flam. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Water-react 1

Riesgos supl.

EUH014

Código de clase de almacenamiento

4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water

Clase de riesgo para el agua (WGK)

WGK 3

Punto de inflamabilidad (°F)

-22.0 °F - closed cup

Punto de inflamabilidad (°C)

-30 °C - closed cup

Equipo de protección personal

Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter

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Certificados de análisis (COA)

Lot/Batch Number
SHBP1947
SHBL6315
SHBL2751
SHBH9716
80197MM

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