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760293

Sigma-Aldrich

2,4,6,8-四甲基环四硅氧烷

packaged for use in deposition systems

同義詞:

TMCTS

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About This Item

線性公式:
(HSiCH3O)4
CAS號碼:
分子量::
240.51
Beilstein:
1775282
EC號碼:
MDL號碼:
分類程式碼代碼:
12352103
PubChem物質ID:
NACRES:
NA.23

等級

deposition grade

化驗

≥99.5% (GC)
≥99.999% (trace metals analysis)

形狀

liquid

折射率

n20/D 1.387 (lit.)

bp

134 °C (lit.)

mp

−69 °C (lit.)

密度

0.986 g/mL at 25 °C (lit.)

儲存溫度

2-8°C

SMILES 字串

C[SiH]1O[SiH](C)O[SiH](C)O[SiH](C)O1

InChI

1S/C4H16O4Si4/c1-9-5-10(2)7-12(4)8-11(3)6-9/h9-12H,1-4H3

InChI 密鑰

BQYPERTZJDZBIR-UHFFFAOYSA-N

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應用

2, 4, 6, 8-Tetramethylcyclotetrasiloxane (TMCTS) is an important precursor for the deposition of polysiloxane, cyclic siloxane, silicon dioxide, oxycarbide thin films with low dielectric constant for microelectronics, semiconductors and other applications

特點和優勢

薄膜晶体管 (TFT) 栅极电介质的前体,TiO 上光化学形成的 SiOX 单层的组分。

象形圖

Flame

訊號詞

Warning

危險聲明

危險分類

Flam. Liq. 3

儲存類別代碼

3 - Flammable liquids

水污染物質分類(WGK)

WGK 3

閃點(°F)

75.2 °F - closed cup

閃點(°C)

24 °C - closed cup


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