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六氟乙酰丙酮钯(II)

• 同義詞: 六氟乙酰丙酮钯（II）
• 線性公式: Pd(C₅HF₆O₂)₂
• CAS號碼: 64916-48-9
• 分子量：: 520.52
• EC號碼: 265-271-1
• MDL號碼: MFCD00015709
• 分類程式碼代碼: 12352300
• PubChem物質ID: 24865018
• NACRES: NA.23

屬性

• 品質等級: 100
• 形狀: powder or crystals
• 反應適用性: core: palladium; reagent type: catalyst
• SMILES 字串: FC(F)(F)C(=O)\C=C(/O[Pd]O\C(=C/C(=O)C(F)(F)F)C(F)(F)F)C(F)(F)F
• InChI: 1S/2C5H2F6O2.Pd/c2*6-4(7,8)2(12)1-3(13)5(9,10)11;/h2*1,12H;/q;;+2/p-2/b2*2-1-;
• InChI 密鑰: OVIDFVVPPRGPGR-PAMPIZDHSA-L

描述

應用

用于氧化还原金属置换反应，以优化铜的化学气相沉积合金化工艺。还用于同时进行铜的蚀刻和钯的沉积，从而应用于超大规模集成设备。

安全資訊

• 象形圖: GHS07
• 訊號詞: Warning
• 危險聲明: H315 - H319 - H335
• 防範說明: P261 - P264 - P271 - P280 - P302 + P352 - P305 + P351 + P338
• 危險分類: Eye Irrit. 2 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3
• 標靶器官: Respiratory system
• 儲存類別代碼: 11 - Combustible Solids
• 水污染物質分類（WGK）: WGK 3
• 個人防護裝備: dust mask type N95 (US), Eyeshields, Gloves