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四(乙基甲基胺基)锆(IV)

packaged for use in deposition systems

• 别名: TEMAZ, 四(乙基甲基氨基)锆(IV)
• 线性分子式: Zr(NCH₃C₂H₅)₄
• CAS号: 175923-04-3
• 分子量: 323.63
• MDL號碼: MFCD03427131
• 分類程式碼代碼: 12352103
• PubChem物質ID: 329764166
• NACRES: NA.23

属性

• 形狀: liquid
• 反應適用性: core: zirconium; reagent type: catalyst
• bp: 81 °C/0.1 mmHg (lit.)
• 密度: 1.049 g/mL at 25 °C (lit.)
• SMILES 字串: CCN(C)[Zr](N(C)CC)(N(C)CC)N(C)CC
• InChI: 1S/4C3H8N.Zr/c4*1-3-4-2;/h4*3H2,1-2H3;/q4*-1;+4
• InChI 密鑰: SRLSISLWUNZOOB-UHFFFAOYSA-N

说明

一般說明

Atomic number of base material: 40 Zirconium

應用

Precursors Packaged for Depositions Systems

安全信息

• 象形圖: GHS02,GHS07
• 訊號詞: Danger
• 危險聲明: H225,H261,H315,H319,H335
• 防範說明: P210 - P231 + P232 - P302 + P352 - P305 + P351 + P338
• 危險分類: Eye Irrit. 2 - Flam. Liq. 2 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3 - Water-react 2
• 標靶器官: Respiratory system
• 儲存類別代碼: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• 水污染物質分類（WGK）: WGK 3
• 閃點（°F）: 50.0 °F - closed cup
• 閃點（°C）: 10 °C - closed cup