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Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)

packaged for use in deposition systems

• Sinonimo/i: TDMAH, Tetrakis(dimethylamino)hafnium(IV)
• Formula condensata: [(CH₃)₂N]₄Hf
• Numero CAS: 19782-68-4
• Peso molecolare: 354.79
• Numero MDL: MFCD01862473
• Codice UNSPSC: 12352103
• ID PubChem: 24884811
• NACRES: NA.23

Proprietà

• Saggio: ≥99.99% (trace metals analysis)
• Forma fisica: low-melting solid
• Impiego in reazioni chimiche: core: hafnium
• Punto di fusione: 26-29 °C (lit.)
• Densità: 1.098 g/mL at 25 °C
• Stringa SMILE: CN(C)[Hf](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/4C2H6N.Hf/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4; ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N

Descrizione

Descrizione generale

Alkyl amides of Hafnium provide a convenient and effective atomic layer deposition precursor to smooth and and amorphous hafnium oxide thin films.

Applicazioni

Precursors Packaged for Depositions Systems

Used as precursor for atomic layer deposition of Hafnium Oxide nanolaminates, which are used as a reploacement for Silicon oxide in semiconductor devices.

Informazioni sulla sicurezza

• Pittogrammi: GHS02,GHS05
• Avvertenze: Danger
• Indicazioni di pericolo: H228,H261,H314
• Consigli di prudenza: P210 - P231 + P232 - P280 - P305 + P351 + P338 - P370 + P378 - P402 + P404
• Classi di pericolo: Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react 2
• Rischi supp: EUH014
• Codice della classe di stoccaggio: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• Classe di pericolosità dell'acqua (WGK): WGK 3
• Punto d’infiammabilità (°F): 109.4 °F - closed cup
• Punto d’infiammabilità (°C): 43 °C - closed cup
• Dispositivi di protezione individuale: Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges