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760404

Tantalum(V) ethoxide

packaged for use in deposition systems

Sinónimos:

PET, Pentaethoxytantalum, Pentaethyl tantalate, Tantalum pentaethoxide

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About This Item

Fórmula lineal:
Ta(OC2H5)5
Número de CAS:
6074-84-6
Peso molecular:
406.25
Beilstein:
3678999
Número CE:
228-010-2
Número MDL:
MFCD00049785
Código UNSPSC:
12352103
ID de la sustancia en PubChem:
329766860
NACRES:
NA.23

Formulario

liquid

índice de refracción

n20/D 1.487 (lit.)

bp

155 °C/0.01 mmHg (lit.)

mp

21 °C (lit.)

densidad

1.566 g/mL at 25 °C (lit.)

cadena SMILES

CCO[Ta](OCC)(OCC)(OCC)OCC

InChI

1S/5C2H5O.Ta/c5*1-2-3;/h5*2H2,1H3;/q5*-1;+5

Clave InChI

HSXKFDGTKKAEHL-UHFFFAOYSA-N

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Aplicación

Tantalum(V) ethoxide precursor is used to deposit ultra thin films of Tantalum oxide and other tantalum containing films by atomic layer deposition and chemical vapor deposition methods

Pictogramas

Flame
GHS02

Palabra de señalización

Warning

Frases de peligro

H226

Clasificaciones de peligro

Flam. Liq. 3

Código de clase de almacenamiento

3 - Flammable liquids

Clase de riesgo para el agua (WGK)

WGK 1

Punto de inflamabilidad (°F)

84.2 °F - closed cup

Punto de inflamabilidad (°C)

29 °C - closed cup

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