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463043

Sigma-Aldrich

Disilane

electronic grade

Sinónimos:

Disilicane, Disilicoethane, Disilicon hexahydride, Silicoethane, Silicon hydride (Si2 H6 )

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About This Item

Fórmula lineal:
Si2H6
Número de CAS:
1590-87-0
Peso molecular:
62.22
Número CE:
216-466-5
Número MDL:
MFCD00054678
Código UNSPSC:
12352103
ID de la sustancia en PubChem:
24869889
NACRES:
NA.23

grado

electronic grade

Nivel de calidad

100

Ensayo

≥99.998% chemical purity basis

Formulario

gas

impurezas

≤50 ppm Higher silanes
<0.2 ppm Chlorosilanes
<1 ppm Argon (Ar) + Oxygen (O2)
<1 ppm Carbon dioxide (CO2)
<1 ppm Nitrogen (N2)
<1 ppm THC
<1 ppm Water
<5 ppm Siloxanes

bp

−14.5 °C (lit.)

mp

−132.6 °C (lit.)

temperatura de transición

critical temperature 150.9 °C

cadena SMILES

[SiH3][SiH3]

InChI

1S/H6Si2/c1-2/h1-2H3

Clave InChI

PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N

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Descripción general

Atomic number of base material: 14 Silicon

Aplicación

Precursor for the rapid, low temperature deposition of epitaxial silicon and silicon-based dielectrics.

Características y beneficios

Disilane is used for the deposition of amorphous silicon, epitaxial silicon and silicon based dielectrics via rapid low-temperature chemical vapor depsition (LTCVD). Disilane is also used in the epitaxial growth of SiGe films by molecular beam epitaxy (MBE) in conjunction with solid sources of germanium. Precursor for the rapid, low temperature deposition of epitaxial silicon and silicon-based dielectrics.

Palabra de señalización

Danger

Clasificaciones de peligro

Acute Tox. 4 Dermal - Eye Irrit. 2 - Flam. Gas 1B - Press. Gas Liquefied gas - Resp. Sens. 1 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3

Órganos de actuación

Respiratory system

Código de clase de almacenamiento

2A - Gases

Clase de riesgo para el agua (WGK)

WGK 3

Punto de inflamabilidad (°F)

<50.0 °F - closed cup

Punto de inflamabilidad (°C)

< 10 °C - closed cup

Equipo de protección personal

Eyeshields, Faceshields, Gloves, multi-purpose combination respirator cartridge (US)

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Certificados de análisis (COA)

Lot/Batch Number
MKCM8084
MKCK6638
MKCF1154
MKCF1153
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Journal of Applied Physiology, 81, 205-205 (1997)
Gen He et al.
Advanced science (Weinheim, Baden-Wurttemberg, Germany), 4(11), 1700158-1700158 (2017-12-05)
Establishing low-cost, high-throughput, simple, and accurate single nucleotide polymorphism (SNP) genotyping techniques is beneficial for understanding the intrinsic relationship between individual genetic variations and their biological functions on a genomic scale. Here, a straightforward and reliable single-molecule approach is demonstrated
O D Supekar et al.
Nanotechnology, 27(49), 49LT02-49LT02 (2016-11-12)
Focused ion beam (FIB) micromachining is a powerful tool for maskless lithography and in recent years FIB has been explored as a tool for strain engineering. Ion beam induced deformation can be utilized as a means for folding freestanding thin
Jorge Alamán et al.
Polymers, 11(3) (2019-04-10)
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Jorge Alamán et al.
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Optical planar waveguide sensors, able to detect and process information from the environment in a fast, cost-effective, and remote fashion, are of great interest currently in different application areas including security, metrology, automotive, aerospace, consumer electronics, energy, environment, or health.
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