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形狀
liquid
品質等級
一般說明
BOE 6:1是6份体积的40%氟化铵和1份体积的49%氢氟酸。
缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）是一种用于微细加工的液体腐蚀剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）的薄膜。它是氟化铵（NH4F）和氢氟酸（HF）等缓冲液的混合物。浓缩的 HF 蚀刻二氧化硅的速度太快，不能很好地进行工艺控制，同时也会剥落用于光刻图案化的光刻胶。
應用
缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）6：1可用于栅极光刻（gate photolithography）的AlGaN / GaN基高电子迁移率晶体管的氧化物去除。它可用于缓冲氧化物蚀刻剂法，制造微型生物芯片。
訊號詞
Danger
危險分類
Acute Tox. 1 Dermal - Acute Tox. 2 Oral - Acute Tox. 3 Inhalation - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A
儲存類別代碼
6.1B - Non-combustible acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials
水污染物質分類（WGK）
WGK 2
閃點（°F）
Not applicable
閃點（°C）
Not applicable
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