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钨蚀刻剂

• 别名: 钨腐蚀剂
• MDL號碼: MFCD08705365
• 分類程式碼代碼: 12352300
• NACRES: NA.23

说明

一般說明

钨腐蚀剂是一种基于氢氧化钾和铁氰化钾溶液的混合物，可通过将基底浸入蚀刻溶液中而有助于将钨和铝等材料进行去除。

應用

半导体和微电子技术中钨薄膜金属化的选择性蚀刻剂。蚀刻剂是缓冲式、温和碱性铁氰化物配方，提供高分辨率图案，具有最小切割和光刻胶兼容性。蚀刻剂可直接使用（不需要稀释）。可控、均匀蚀刻是通过浸渍或喷雾蚀刻技术实现的。蚀刻能力（速率在∼70%时下降）为64 g/加仑。建议工作温度：20-80 °C（30-40 °C最常用）

準備報告

1.根据下表选择蚀刻方法蚀刻速率（浸入） 蚀刻速率（喷雾）

• 20°C = 30 Å/秒
• 30°C = 140 Å/秒 20°C = 80 Å/秒
• 60°C = 250 Å/秒

2.用去离子水冲洗

安全信息

• 象形圖: GHS05
• 訊號詞: Danger
• 危險聲明: H290,H314,H412
• 防範說明: P234 - P273 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338
• 危險分類: Aquatic Chronic 3 - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1A
• 安全危害: EUH032
• 儲存類別代碼: 8B - Non-combustible corrosive hazardous materials
• 水污染物質分類（WGK）: WGK 2
• 閃點（°F）: Not applicable
• 閃點（°C）: Not applicable
• 個人防護裝備: Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter