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material
gold/chromium electrode (Au/Cr)
설명
die layer thickness 300 nm SiO2
die layer thickness 36 nm boron nitride
electrode layer thickness 60 nm gold
type 1
특징
BN/SiO2 coating
포장
pkg of 12 non-diced devices
제조업체/상표
IDE101
die thickness
525 μm , silicon
전극 크기
10 nm , chrome
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