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901621

Sigma-Aldrich

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 10:1

别名:

BHF, 缓冲HF

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About This Item

分類程式碼代碼:
12161700
NACRES:
NA.23

一般說明

缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）薄膜。它是一种缓冲剂的混合物，例如氟化铵（NH4F）和氢氟酸（HF）。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快，无法实现良好的工艺控制，并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。

應用

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 10:1可用于刻蚀微机电系统 (MEMS)用碳化钛。也可用于旋涂掺杂材料(SOD)的蚀刻，用于开发导体-绝缘体-导体隧穿二极管。它还用于提高熔融石英器件的表面质量。

象形圖

Skull and crossbonesCorrosion
GHS06,GHS05

訊號詞

Danger

危險分類

Acute Tox. 2 Dermal - Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 3 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1B

儲存類別代碼

6.1B - Non-combustible acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials

水污染物質分類（WGK）

WGK 2

閃點（°F）

Not applicable

閃點（°C）

Not applicable

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分析证书(COA)

Lot/Batch Number
MKCQ4119
MKCP7228
MKCN7729
MKCM3153
MKCM3162

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New process development for planar-type CIC tunneling diodes
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IEEE Electron Device Letters, 31(8), 809-811 (2010)

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