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About This Item
线性分子式:
(SiCl3)2
CAS号:
分子量:
268.89
EC號碼:
MDL號碼:
分類程式碼代碼:
12352103
PubChem物質ID:
NACRES:
NA.23
推荐产品
化驗
96%
形狀
liquid
折射率
n20/D 1.475 (lit.)
bp
144-145.5 °C (lit.)
密度
1.562 g/mL at 25 °C (lit.)
SMILES 字串
Cl[Si](Cl)(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl
InChI
1S/Cl6Si2/c1-7(2,3)8(4,5)6
InChI 密鑰
LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N
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一般說明
六氯乙硅烷（HCDS）是一种氯硅烷，可用作生产乙硅烷的前体。它是一种用于生产硅膜和氮化硅基膜的脱氧剂。
應用
HCDS可用于通过化学气相沉积（CVD）制备二氧化硅气凝胶，其有望用作封装剂和绝热体。它也可用于通过CVD合成1,1,1,2,2,2-六氨基乙硅烷，其可形成微电子应用的硅基薄膜。
HCDS可用作还原剂。它可以通过化学气相沉积（CVD）技术与氨结合形成氮化硅。
訊號詞
Danger
危險聲明
危險分類
Skin Corr. 1B
安全危害
儲存類別代碼
8A - Combustible corrosive hazardous materials
水污染物質分類（WGK）
WGK 3
閃點（°F）
Not applicable
閃點（°C）
Not applicable
個人防護裝備
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