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Tantal(V)-ethoxid

packaged for use in deposition systems

Synonym(e):

PET, Pentaethoxytantalum, Pentaethyl tantalate, Tantalum pentaethoxide

Anmeldenzur Ansicht organisationsspezifischer und vertraglich vereinbarter Preise
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About This Item

Lineare Formel:
Ta(OC2H5)5
CAS-Nummer:
6074-84-6
Molekulargewicht:
406.25
Beilstein:
3678999
EG-Nummer:
228-010-2
MDL-Nummer:
MFCD00049785
UNSPSC-Code:
12352103
PubChem Substanz-ID:
329766860
NACRES:
NA.23

Form

liquid

Brechungsindex

n20/D 1.487 (lit.)

bp

155 °C/0.01 mmHg (lit.)

mp (Schmelzpunkt)

21 °C (lit.)

Dichte

1.566 g/mL at 25 °C (lit.)

SMILES String

CCO[Ta](OCC)(OCC)(OCC)OCC

InChI

1S/5C2H5O.Ta/c5*1-2-3;/h5*2H2,1H3;/q5*-1;+5

InChIKey

HSXKFDGTKKAEHL-UHFFFAOYSA-N

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Anwendung

Tantalum(V) ethoxide precursor is used to deposit ultra thin films of Tantalum oxide and other tantalum containing films by atomic layer deposition and chemical vapor deposition methods

Piktogramme

Flame
GHS02

Signalwort

Warning

H-Sätze

H226

Gefahreneinstufungen

Flam. Liq. 3

Lagerklassenschlüssel

3 - Flammable liquids

WGK

WGK 1

Flammpunkt (°F)

84.2 °F - closed cup

Flammpunkt (°C)

29 °C - closed cup

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Analysenzertifikate (COA)

Lot/Batch Number
SHBB2425V

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