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Tungsten etchant
Sinônimo(s):
Tungsten etch
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Descrição geral
Tungsten etchant is a mixture of potassium hydroxide and potassium ferricyanide based solution that facilitates the removal of tungsten and other materials like aluminium by dipping the substrate into the etching solution.
Aplicação
Selective etchants for tungsten thin-film metallizations used in semiconductor and microelectronics technology. Etchants are buffered, mildly alkaline ferricyanide-based formulations providing high resolution patterns with minimal undercutting and photoresist compatibility. Etchant is ready to use (no dilution required). Controlled, uniform etching is achieved by immersion or spray etch technique. Etch Capacity (rate declines at ∼70%) of 64 g/gallon. Recommended Operating Temperatures: 20-80 °C (30-40 °C most common).
Nota de preparo
- 20°C = 30 Å/second
- 30°C = 140 Å/second 20°C = 80 Å/second
- 60°C = 250 Å/second
Palavra indicadora
Danger
Frases de perigo
Declarações de precaução
Classificações de perigo
Aquatic Chronic 3 - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1A
Perigos de suplementos
Código de classe de armazenamento
8B - Non-combustible, corrosive hazardous materials
Classe de risco de água (WGK)
WGK 2
Ponto de fulgor (°F)
Not applicable
Ponto de fulgor (°C)
Not applicable
Equipamento de proteção individual
Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter
Certificados de análise (COA)
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