760293

2,4,6,8-四甲基环四硅氧烷

packaged for use in deposition systems

• 别名: TMCTS
• 线性分子式: (HSiCH₃O)₄
• CAS号: 2370-88-9
• 分子量: 240.51
• Beilstein: 1775282
• EC號碼: 219-137-4
• MDL號碼: MFCD00039567
• 分類程式碼代碼: 12352103
• PubChem物質ID: 329766852
• NACRES: NA.23

属性

• 等級: deposition grade
• 化驗: ≥99.5% (GC); ≥99.999% (trace metals analysis)
• 形狀: liquid
• 折射率: n20/D 1.387 (lit.)
• bp: 134 °C (lit.)
• mp: −69 °C (lit.)
• 密度: 0.986 g/mL at 25 °C (lit.)
• 儲存溫度: 2-8°C
• SMILES 字串: C[SiH]1O[SiH](C)O[SiH](C)O[SiH](C)O1
• InChI: 1S/C4H16O4Si4/c1-9-5-10(2)7-12(4)8-11(3)6-9/h9-12H,1-4H3
• InChI 密鑰: BQYPERTZJDZBIR-UHFFFAOYSA-N

说明

應用

2, 4, 6, 8-Tetramethylcyclotetrasiloxane (TMCTS) is an important precursor for the deposition of polysiloxane, cyclic siloxane, silicon dioxide, oxycarbide thin films with low dielectric constant for microelectronics, semiconductors and other applications

特點和優勢

薄膜晶体管 (TFT) 栅极电介质的前体，TiO 上光化学形成的 SiO_X 单层的组分。

安全信息

• 象形圖: GHS02
• 訊號詞: Warning
• 危險聲明: H226
• 危險分類: Flam. Liq. 3
• 儲存類別代碼: 3 - Flammable liquids
• 水污染物質分類（WGK）: WGK 3
• 閃點（°F）: 75.2 °F - closed cup
• 閃點（°C）: 24 °C - closed cup