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About This Item
线性分子式:
Ta(N(CH3)2)5
CAS号:
分子量:
401.33
MDL號碼:
分類程式碼代碼:
12352103
PubChem物質ID:
NACRES:
NA.23
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品質等級
化驗
99.99%
形狀
solid
反應適用性
core: tantalum
reagent type: catalyst
mp
100 °C (dec.) (lit.)
SMILES 字串
CN(C)[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C
InChI
1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5
InChI 密鑰
VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N
一般說明
基材原子数：73 钽
特點和優勢
氮化钽 (TaN) 薄膜的挥发性固体 CVD 前体。当在沉积过程中存在 O2、H2O、NO 或 H2O2 时，还会形成氧化钽 (Ta2O5) 薄膜。 Ta2O5 薄膜作为集成电路制造中的栅电介质材料具有广阔的应用前景。
訊號詞
Danger
危險聲明
危險分類
Eye Dam. 1 - Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react 1
儲存類別代碼
4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
水污染物質分類（WGK）
WGK 3
閃點（°F）
Not applicable
閃點（°C）
Not applicable
個人防護裝備
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