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三（二甲氨基）硅烷 packaged for use in deposition systems

三（二甲氨基）硅烷

三（二甲氨基）硅烷 packaged for use in deposition systems
别名:
(Me2N)3SiH, N,N,N′,N′,N′′′,N′′′-六甲基硅烷三胺, TDMA, 三（二甲基氨基）硅烷, 三（二甲氨基）硅烷
线性分子式:
((CH3)2N)3SiH
CAS号:
15112-89-7
分子量:
161.32
EC 号:
239-165-0

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