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Sigma-Aldrich

Tetrakis(dimethylamido)zirconium(IV)

electronic grade, ≥99.99% trace metals basis

Synonyme(s) :

TDMAZ, Tetrakis(dimethylamino)zirconium(IV)

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About This Item

Formule linéaire :
[(CH3)2N]4Zr
Numéro CAS:
19756-04-8
Poids moléculaire :
267.53
Numéro MDL:
MFCD00239502
Code UNSPSC :
12352300
ID de substance PubChem :
24880977
Nomenclature NACRES :
NA.23

Qualité

electronic grade

Niveau de qualité

100

Pureté

≥99.99% trace metals basis

Forme

solid

Pertinence de la réaction

core: zirconium

Pf

57-60 °C (lit.)

Température de stockage

2-8°C

Chaîne SMILES 

CN(C)[Zr](N(C)C)(N(C)C)N(C)C

InChI

1S/4C2H6N.Zr/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4

Clé InChI

DWCMDRNGBIZOQL-UHFFFAOYSA-N

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Application

Tetrakis(dimethylamido) zirconium (IV) may be used as a precursor for atomic layer deposition of zirconium which find applications ranging from gas sensors to high-k dielectrics in microelectronics.

Pictogrammes

FlameExclamation mark
GHS02,GHS07

Mention d'avertissement

Danger

Classification des risques

Eye Irrit. 2 - Flam. Sol. 1 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3 - Water-react 2

Organes cibles

Respiratory system

Risques supp

EUH014

Code de la classe de stockage

4.3 - Hazardous materials, which set free flammable gases upon contact with water

Classe de danger pour l'eau (WGK)

WGK 3

Point d'éclair (°F)

No data available

Point d'éclair (°C)

No data available

Équipement de protection individuelle

Eyeshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges

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