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Tetrakis(dimethylamido)zirconium(IV)

electronic grade, ≥99.99% trace metals basis

• Synonym(e): Orthozirkonsäure-tetrakis-(dimethylamid)
• Lineare Formel: [(CH₃)₂N]₄Zr
• CAS-Nummer: 19756-04-8
• Molekulargewicht: 267.53
• MDL-Nummer: MFCD00239502
• UNSPSC-Code: 12352103
• PubChem Substanz-ID: 24880977
• NACRES: NA.23

Eigenschaften

• Qualität: electronic grade
• Assay: ≥99.99% trace metals basis
• Form: solid
• Eignung der Reaktion: core: zirconium
• mp (Schmelzpunkt): 57-60 °C (lit.)
• Lagertemp.: 2-8°C
• SMILES String: CN(C)[Zr](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/4C2H6N.Zr/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
• InChIKey: DWCMDRNGBIZOQL-UHFFFAOYSA-N

Beschreibung

Anwendung

Tetrakis(dimethylamido) zirconium (IV) may be used as a precursor for atomic layer deposition of zirconium which find applications ranging from gas sensors to high-k dielectrics in microelectronics.

Sicherheitshinweise

• Piktogramme: GHS02,GHS07
• Signalwort: Danger
• H-Sätze: H228,H261,H315,H319,H335
• P-Sätze: P210 - P223 - P231 + P232 - P240 - P302 + P352 - P305 + P351 + P338
• Gefahreneinstufungen: Eye Irrit. 2 - Flam. Sol. 1 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3 - Water-react 2
• Zielorgane: Respiratory system
• Zusätzliche Gefahrenhinweise: EUH014
• Lagerklassenschlüssel: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• WGK: WGK 3
• Flammpunkt (°F): No data available
• Flammpunkt (°C): No data available
• Persönliche Schutzausrüstung: Eyeshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges