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Hexamethyldisiloxan

≥98%

• Synonym(e): HMDSO
• Lineare Formel: (CH₃)₃SiOSi(CH₃)₃
• CAS-Nummer: 107-46-0
• Molekulargewicht: 162.38
• Beilstein: 1736258
• EG-Nummer: 203-492-7
• MDL-Nummer: MFCD00008265
• UNSPSC-Code: 12352103
• PubChem Substanz-ID: 24852329
• NACRES: NA.22

Eigenschaften

• Dampfdichte: >1 (vs air)
• Assay: ≥98%
• Form: liquid
• Brechungsindex: n20/D 1.377 (lit.)
• bp: 101 °C (lit.); 101 °C
• mp (Schmelzpunkt): −59 °C (lit.)
• Dichte: 0.764 g/mL at 20 °C (lit.)
• SMILES String: C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C
• InChI: 1S/C6H18OSi2/c1-8(2,3)7-9(4,5)6/h1-6H3
• InChIKey: UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N

Beschreibung

Allgemeine Beschreibung

Hexamethyldisiloxan (HMDSO), ein lineares Polysiloxan, ist ein siliciumorganisches Reagenz, das häufig als Quelle für plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PE-CVD) zur Erzeugung dünner Schichten von Siliziumverbindungen verwendet wird. Darüber hinaus findet es als Silanersatz Anwendung in der Silizium-Halbleitertechnologie. Seine dissoziative Ionisation durch Elektronenstoß wurde mittels Fourier-Massenspektrometrie untersucht. Es wurde von der Synthese von Plasma-Polymer-Dünnschichten auf HMDSO‐Basis durch Glimmentladung (APG) berichtet. HMDSO-Kristalle bei 148K sind monoklin. Die Zugabe von HMDSO zu P₄S₁₀ verbessert dessen Wirksamkeit als Thionierungsmittel.

Anwendung

Hexamethyldisiloxan kann wie folgt verwendet werden:

• zur Herstellung einer Gasdiffusionsschicht mit einer kontrollierten hydrophoben Silikon-Nanoschicht durch trockene atmosphärische Deposition;
• zur Erzeugung von Siliciumdioxid-beschichteten Silber-Nanopartikeln durch Verwendung von Arginin als Katalysator und Glucose als Reduktionsmittel.

Sicherheitshinweise

• Piktogramme: GHS02,GHS09
• Signalwort: Danger
• H-Sätze: H225,H410
• P-Sätze: P210 - P233 - P240 - P241 - P242 - P273
• Gefahreneinstufungen: Aquatic Acute 1 - Aquatic Chronic 1 - Flam. Liq. 2
• Lagerklassenschlüssel: 3 - Flammable liquids
• WGK: WGK 2
• Flammpunkt (°F): 21.2 °F - closed cup
• Flammpunkt (°C): -6 °C - closed cup
• Persönliche Schutzausrüstung: Eyeshields, Faceshields, Gloves, type ABEK (EN14387) respirator filter