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四（二甲基氨基）铪 (Ⅳ)

packaged for use in deposition systems

• 别名: TDMAH, 四(二甲胺基)铪(IV)
• 线性分子式: [(CH₃)₂N]₄Hf
• CAS号: 19782-68-4
• 分子量: 354.79
• MDL號碼: MFCD01862473
• 分類程式碼代碼: 12352300
• PubChem物質ID: 24884811
• NACRES: NA.23

属性

• 品質等級: 100
• 化驗: ≥99.99% (trace metals analysis)
• 形狀: low-melting solid
• 反應適用性: core: hafnium
• mp: 26-29 °C (lit.)
• 密度: 1.098 g/mL at 25 °C
• SMILES 字串: CN(C)[Hf](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/4C2H6N.Hf/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
• InChI 密鑰: ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N

说明

一般說明

铪烷基酰胺是制备平滑非晶氧化铪薄膜的一种简便有效的原子层沉积前驱体。

應用

为沉积系统包装的前体

用作氧化铪纳米层压板的原子层沉积的前体，其用作半导体器件中的氧化硅的替换物。

安全信息

• 象形圖: GHS02,GHS05
• 訊號詞: Danger
• 危險聲明: H228 - H261 - H314
• 防範說明: P210 - P231 + P232 - P280 - P305 + P351 + P338 - P370 + P378 - P402 + P404
• 危險分類: Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react 2
• 安全危害: EUH014
• 儲存類別代碼: 4.3 - Hazardous materials, which set free flammable gases upon contact with water
• 水污染物質分類（WGK）: WGK 3
• 閃點（°F）: 109.4 °F - closed cup
• 閃點（°C）: 43 °C - closed cup
• 個人防護裝備: Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges