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Merck

651842

Sigma-Aldrich

金蚀刻剂,与镍相容

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About This Item

MDL號碼:
分類程式碼代碼:
12352300
NACRES:
NA.23

蒸汽密度

9 (vs air)

品質等級

蒸汽壓力

0.3 mmHg ( 15 °C)

成份

volatiles, 50-80%

bp

100 °C/1 atm

溶解度

H2O: miscible at 20 °C

一般說明

Nickel compatible gold etchant is an etching solution that can be used in the removal of the gold layer from the surface. Compatibility of gold etchants with nickel allows it to be utilized in applications where nickel is used as a dominant material in the fabrication of micro-electro-mechanical systems (MEMS).

應用

用于金的可选通用蚀刻剂。可与负性和正性光致抗蚀剂相容。

特點和優勢

易于以最少的底切控制蚀刻。室温下操作。无氰化物,不侵蚀镍膜。

象形圖

Health hazard

訊號詞

Danger

危險聲明

危險分類

STOT RE 1 Oral

標靶器官

Thyroid

儲存類別代碼

6.1D - Non-combustible, acute toxic Cat.3 / toxic hazardous materials or hazardous materials causing chronic effects

水污染物質分類(WGK)

WGK 3

閃點(°F)

Not applicable

閃點(°C)

Not applicable

個人防護裝備

Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter


分析证书(COA)

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实验方案

Negative Photoresist Procedure

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